晶片表面有油污,很難以檢測到,即便用KLA也難以判斷,這主要是有檢測原理決定的。有污染的晶片若被應(yīng)用的外延,就會嚴(yán)重影響到LED的品質(zhì),使成品率下降。所以,如果要排除污染,就必須有一個專業(yè)的設(shè)備進(jìn)行探測與判斷。
合能陽光提供SQM-500W表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)用于對樣品表面清潔質(zhì)量進(jìn)行檢測與分析。
SQM系列產(chǎn)品的重大突破是首次提供表面清潔度的定量分析。可以對各種表面上的污染進(jìn)行非接觸無損傷的快速準(zhǔn)確的測量。結(jié)果能夠?yàn)閮?yōu)化表面清潔工藝提供真實(shí)可靠的分析,為產(chǎn)品品質(zhì)提供有力可信的保證,是公司利潤和信譽(yù)提供必不可少的保障。