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硅材料碳氧含量測試儀:HS-OCT-2000
硅片缺陷觀測儀:HS-WDI
半自動無接觸硅片測試儀:HS-NCS-200SA
硅片表面線痕深度測試儀:HS-SRT-301
原生多晶型號測試儀:HS-PSTT
硅芯電阻率測試儀:HS-SFRT
少子壽命測試儀:HS-CLT
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